En el reciente "SSLCHINA 2021: Mini / Micro LED Technology Industry Application Forum", Hu Jianzheng, Director de MOCVD Process Technology de China Micro Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd., compartió el equipo Prismo UniMax® MOCVD utilizado para la producción de MiniLED azul y verde por China Micro Semiconductors (Shanghai) Co., Ltd. Las últimas novedades.
Hu Jianzheng presentó que, en comparación con los LED tradicionales utilizados para la iluminación, las obleas epitaxiales Mini / Micro LED tienen requisitos más estrictos para la uniformidad de la longitud de onda y el número de partículas. Es necesario desarrollar una nueva plataforma MOCVD para mejorar la uniformidad de la longitud de onda de las obleas epitaxiales y reducir las partículas. Cantidad, para realizar la aplicación comercial de Mini / Micro LED.
La última plataforma MOCVD Prismo UniMax® desarrollada por China Microelectronics que se puede utilizar para la producción en masa de MiniLED, a través del ajuste fino del campo de temperatura local y la optimización del campo de flujo, los LED azul-verdes cultivados en sustratos de 4 "y 6" han logrado buenos resultados.的 uniformidad de longitud de onda. Bajo la condición de configuración de 41×4", la uniformidad de la longitud de onda dentro y entre el chip LED azul también es muy alta, respectivamente, 0.71 nm y 0.87 nm (1σ); bajo la condición de configuración de 10×6", la longitud de onda del chip LED azul es uniforme El rendimiento alcanza los 0,84 nm (1σ), y la diferencia máxima y mínima en la longitud de onda de la placa cuadrada de 100 mm×100 mm es tan baja como 2,4 nm. Para el LED verde de 6 pulgadas con una longitud de onda promedio de 530nm, la uniformidad de la longitud de onda en el chip es de 1.04nm (1σ), y la diferencia máxima y mínima en la longitud de onda del chip cuadrado de 100mm×100mm es de solo 4.6nm.
Según el sitio web oficial de China Microelectronics, en términos de configuración, el equipo Prismo UniMax® MOCVD tiene hasta 4 cámaras de reacción, que pueden procesar 108 obleas epitaxiales MiniLED miniLED de 4 pulgadas o 40 de 6 pulgadas de alto rendimiento a base de nitruro de galio a base de nitruro de galio al mismo tiempo. El ajuste se puede extender para procesar 164 obleas epitaxiales de 4 pulgadas o 72 de 6 pulgadas al mismo tiempo, y su capacidad de proceso también se puede ampliar para cultivar obleas epitaxiales de 8 pulgadas. Además, el equipo está equipado con una bandeja de grafito de gran diámetro de 785 mm, que mejora en gran medida la capacidad de producción del equipo y reduce efectivamente el costo de producción de las obleas epitaxiales MiniLED.
Se informa que el equipo Prismo UniMax® MOCVD se lanzó oficialmente en junio de este año, y se utiliza principalmente para la producción en masa de obleas epitaxiales MiniLED basadas en GaN. El 9 de diciembre, China Microelectronics anunció que el pedido de equipos Prismo UniMax® MOCVD ha superado las 100 cavidades.
Se entiende que China Micro Semiconductor Equipment Co., Ltd. se estableció en 2004 y tiene su sede en Shanghai. En 2019, cotizó en la Junta de Innovación científica y tecnológica de la Bolsa de Valores de Shanghai. Se dedica principalmente a la investigación y desarrollo, producción y venta de equipos semiconductores de alta gama y equipos pan-semiconductores. Distribución de productos de la empresa Hay: equipos de grabado CCP, equipos de grabado ICP, equipos de grabado de silicio profundo, equipos MOCVD, equipos de purificación VOC.
Entre ellos, el equipo MOCVD de la serie Prismo desarrollado por China Microelectronics puede ser ampliamente utilizado en la producción de varios dispositivos basados en nitruros del grupo III, incluidos LED azul-verdes, LED ultravioleta profundo y dispositivos de potencia. En la actualidad, el equipo MOCVD de China Micro se ha puesto en producción en masa en las principales líneas de producción de LED en la industria.
En 2020, China Microelectronics logró ingresos operativos de 2.273 millones de yuanes, un aumento interanual del 16,76%; El beneficio neto atribuible a los accionistas de las empresas que cotizan en bolsa fue de 492 millones de yuanes, un aumento interanual del 161,02%. En la primera mitad de 2021, los ingresos operativos de China Micro fueron de 1.339 millones de yuanes, un aumento interanual del 36,82%; El beneficio neto atribuible a los accionistas de las empresas cotizadas fue de 397 millones de yuanes, un aumento interanual del 233,17%.
